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國家科技重大專項極紫外光刻膠項目通過驗收
作者/編輯來源:本站 時間:2018-07-18 瀏覽次數:
近日,國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(以下簡稱02重大專項)實施管理辦公室組織任務驗收專家組、財務驗收專家組對02重大專項“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術研究”項目進行了任務驗收和財務驗收。與會專家聽取了項目負責人和課題負責人對項…信息摘要:

近日,國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(以下簡稱02重大專項)實施管理辦公室組織任務驗收專家組、財務驗收專家組對02重大專項“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術研究”項目進行了任務驗收和財務驗收。與會專家聽取了項目負責人和課題負責人對項目和課題完成情況的匯報、測試組的現場測試報告、財務執行情況報告等,審閱了驗收資料。經過認真討論,與會專家一致同意該項目通過驗收。

《國家中長期科學技術發展規劃綱要(2006-2020年)》在重點領域中確定一批優先主題的同時,圍繞國家目標,進一步突出重點,篩選出若干重大戰略產品、關鍵共性技術或重大工程作為重大專項,力爭取得突破,努力實現以科技發展的局部躍升帶動生產力的跨越發展。

“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”專項(02專項)項目“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術研究”由中國科學院化學研究所、中國科學院理化技術研究所、北京科華微電子材料有限公司聯合承擔。經過項目組全體成員的努力攻關,完成了EUV光刻膠關鍵材料的設計、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實驗室光刻膠性能的初步評價裝備的研發,達到了任務書中規定的材料和裝備的考核指標。項目共申請發明專利15項(包括國際專利5項),截止到目前,共獲得授權專利10項(包括國際專利授權3項);培養了博士研究生9名,碩士研究生1名。

與會專家對項目取得的研發成果給予了充分肯定,指出開展極紫外光刻膠的研發具有戰略眼光,經過項目組成員幾年的努力,圓滿地完成了研發任務,達到了項目任務書中規定的指標;建立了一支在高檔光刻膠領域的研發隊伍,為我國的半導體集成電路產業的穩定發展提供了人才支持。

課題承擔單位中科院理化所和項目負責單位中科院化學所的相關負責人在致辭中對專家組多年來對光刻膠研發團隊的支持表示衷心的感謝。我國的高檔電子化學品的研發正處于高速發展期,該項目的完成將對我國半導體產業的穩定發展提供重要保證,希望對高檔光刻膠的研發給予持續的支持;鼓勵研發團隊繼續努力,發揮在特殊材料領域設計和制備的優勢,為我國半導體工業的發展做出自己的貢獻。

科技部重大專項辦公室、北京市經濟和信息化委員會、02重大專項辦公室、02重大專項總體組及02重大專項辦公室聘請的任務驗收專家和財務驗收專家等有關單位的負責人和專家參加了本次驗收會。

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